以活性炭為載體對吸附半導體煙道氣中含鹵素的有害污染物有效果

以活性炭(tan)為載(zai)體，載(zai)有3%-18%堿(jian)金屬(shu)甲酸(suan)鹽和(he)（或）堿(jian)土金屬(shu)甲酸(suan)鹽，具(ju)有比表面積700-2500㎡/g，較可取的(de)(de)是1000-2500㎡/g和(he)4-32目大小，以此吸附半導(dao)體煙道氣中含鹵素的(de)(de)有害污染物，例如氯(lv)(lv)、碘、氟化(hua)氫(qing)、氯(lv)(lv)化(hua)氫(qing)、三氟化(hua)硼、三氯(lv)(lv)化(hua)硼、四氟化(hua)硅、四氯(lv)(lv)化(hua)硅、四氯(lv)(lv)化(hua)鈦、三氯(lv)(lv)化(hua)鋁、四氟化(hua)鎢.